Факультет електроніки та інформаційних технологій (ЕлІТ)
Permanent URI for this communityhttps://devessuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/20
Browse
4 results
Search Results
Item Influence of Diffusing Impurities on the Electrical Conductivity of Single-Crystal and Polycrystalline Metal Films(Институт металлофизики им. Г.В. Курдюмова НАН Украины, 2007) Chornous, Anatolii Mykolaiovych; Dehtiaruk, Leonid Vasylovych; Hovorun, Tetiana Pavlivna; Stepanenko, Andrii Oleksandrovych; Чорноус, Анатолій Миколайович; Чорноус, Анатолий Николаевич; Дехтярук, Леонід Васильович; Дехтярук, Леонид Васильевич; Говорун, Тетяна Павлівна; Говорун, Татьяна Павловна; Степаненко, Андрій Олександрович; Степаненко, Андрей АлександровичThe electrical-transport properties of thin single-crystal and polycrystalline metal films coated with an ultra-thin metallic layer of diffusing impurities are theoretically investigated. Analyzing changes of the electrical conductivity caused by the diffusion annealing, we investigate the processes of the bulk diffusion and the grain-boundary diffusion. Both the effective penetration depth of the diffusing atoms into the bulk of a sample and the penetration depth along the grain boundaries may be determined; the coefficients of bulk and grain-boundary diffusions may be estimated. The electrical conductivity is calculated within our model, and numerical analysis of the diffusion-annealing time dependence at various parameters is performed. When you are citing the document, use the following link http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/570Item Вплив температурної обробки на електрофізичні властивості та фазовий склад двошарових плівок на основі титану і алюмінію або ніклю(Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України, 2007) Степаненко, Андрій Олександрович; Гричановська, Тетяна Михайлівна; Чорноус, Анатолій Миколайович; Hrychanovska, Tetiana Mykhailivna; Гричановская, Татьяна Михайловна; Chornous, Anatolii Mykolaiovych; Чорноус, Анатолий Николаевич; Stepanenko, Andrii Oleksandrovych; Степаненко, Андрей АлександровичДосліджено вплив температурної обробки на питомий електричний опір, температурний коефіцієнт опору і фазовий склад двошарових плівкових систем на основі Ті й Аl та Ті й Nі, загальна товщина яких не перевищує 100 нм. Показано, що відпалювання зразків при Тв = 800 К призводить до твердофазних реакцій між А1 і оксидом Ті (плівки Ті/Аl) та Ті й Nі (плівки Nі/Ті), продуктами яких є ТіА13 і Nі3Ті (у зразках, відпалених до 900-1000 К, фіксуються фази NiТі і NiТі2). Виявлено кореляцію між фазовим складом і електрофізичними властивостями двошарових плівкових систем. // Русск. версия: Исследовано влияние температурной обработки на удельное электрическое сопротивление, температурный коэффициент сопротивления и фазовый состав двухслойных пленочных систем на основе Ті и А1 или Ті и Nі, общая толщина которых не превышала 100 нм. Показано, что отжиг пленок при То = 800 К приводит к твердофазным реакциям между А1 и окислом Ті (пленки Ті/Аl) или Ті и Nі (пленки Nі/Ті), продуктами которых являются ТіА13 и Nі3Ті (в отожженных до 900-1000 К образцах фиксируются фазы NіТі и NіТі2). Установлена корреляция между фазовым составом и электрофизическими свойствами двухслойных пленочных систем. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/551Item Процеси фазоутворення у багатошарових плівкових системах на основі алюмінію та титану(Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України, 2009) Воробйов, Сергій Ігорович; Степаненко, Андрій Олександрович; Чорноус, Анатолій Миколайович; Шабельник, Юрій Михайлович; Воробьев, Сергей Игоревич; Vorobiov, Serhii Ihorovych; Шабельник, Юрий Михайлович; Shabelnyk, Yurii Mykhailovych; Чорноус, Анатолий Николаевич; Chornous, Anatolii Mykolaiovych; Степаненко, Андрей Александрович; Stepanenko, Andrii OleksandrovychДосліджено процеси фазоутворення у плівкових системах на основі Ті й Аl, яких одержано пошаровою конденсацією на підложжя, що переміщується з високою частотою між термічними випарниками відповідних первнів. Показано, що формування фази Ті3А1 відбувається у процесі конденсації системи Ті0,8А10,2, а фази ТіА13 — після відпалювання до 900 К плівкової системи Ті0,2А10,8. Виявлено кореляцію між фазовим складом і електрофізичними властивостями таких плівкових систем. // Русск. версия: Исследованы процессы фазообразования в пленочных системах на основе Ті и А1, которые получены послойной конденсацией на подложку, перемещаемую с высокой частотой между термическими испарителями соответствующих элементов. Показано, что формирование фазы Ті3А1 происходит в процессе конденсации системы Ті0,8А10,2, а фазы ТіА13 — после отжига до 900 К пленочной системы Ті0,2А10,8. Установлена корреляция между фазовым составом и электрофизическими свойствами таких пленочных систем. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/550Item Фазообразование и электрофизические свойства тонкопленочных систем на основе Ті и Аl в условиях изотермического отжига(ННЦ "ХФТИ"; ИПП "Контраст", 2007) Чорноус, Анатолий Николаевич; Степаненко, Андрей Александрович; Chornous, Anatolii Mykolaiovych; Чорноус, Анатолій Миколайович; Stepanenko, Andrii Oleksandrovych; Степаненко, Андрій ОлександровичПредставлены результаты исследования влияния температурной обработки на фазообразование и электрофизические свойства двухслойных пленочных систем на основе Ті и Аl с одинаковой относительной концентрацией компонент. Показано, что изотермический отжиг при температуре 820 К приводит к образованию интерметаллической фазы ТіА13. Этот процесс сопровождается значительным увеличением удельного электрического сопротивления пленочной системы. // Укр. версія: Представлені результати дослідження впливу температурної обробки на фазоутворення та електрофізичні властивості двошарових плівкових систем на основі Ті і А1 з однаковою відносною концентрацією компонент. Показано, що ізотермічне відпалювання при температурі 820 К призводить до утворення інтерметалідної фази ТіА13. Цей процес супроводжується значним збільшенням питомого електричного опору плівкової системи. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/510