Факультет електроніки та інформаційних технологій (ЕлІТ)
Permanent URI for this communityhttps://devessuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/20
Browse
2 results
Search Results
Item Розмірна залежність температурного коефіцієнту опору двошарових плівок на основі Аl та (Ті або Ni)(Видавництво СумДУ, 2006) Степаненко, Андрій Олександрович; Степаненко, Андрей Александрович; Stepanenko, Andrii Oleksandrovych; Басов, Андрій Геннадійович; Басов, Андрей Геннадьевич; Basov, Andrii Hennadiiovych; Мусієнко, М.В.Item Фазообразование и электрофизические свойства тонкопленочных систем на основе Ті и Аl в условиях изотермического отжига(ННЦ "ХФТИ"; ИПП "Контраст", 2007) Чорноус, Анатолий Николаевич; Степаненко, Андрей Александрович; Chornous, Anatolii Mykolaiovych; Чорноус, Анатолій Миколайович; Stepanenko, Andrii Oleksandrovych; Степаненко, Андрій ОлександровичПредставлены результаты исследования влияния температурной обработки на фазообразование и электрофизические свойства двухслойных пленочных систем на основе Ті и Аl с одинаковой относительной концентрацией компонент. Показано, что изотермический отжиг при температуре 820 К приводит к образованию интерметаллической фазы ТіА13. Этот процесс сопровождается значительным увеличением удельного электрического сопротивления пленочной системы. // Укр. версія: Представлені результати дослідження впливу температурної обробки на фазоутворення та електрофізичні властивості двошарових плівкових систем на основі Ті і А1 з однаковою відносною концентрацією компонент. Показано, що ізотермічне відпалювання при температурі 820 К призводить до утворення інтерметалідної фази ТіА13. Цей процес супроводжується значним збільшенням питомого електричного опору плівкової системи. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/510