Факультет електроніки та інформаційних технологій (ЕлІТ)
Permanent URI for this communityhttps://devessuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/20
Browse
2 results
Search Results
Item Вплив температурної обробки на електрофізичні властивості та фазовий склад двошарових плівок на основі титану і алюмінію або ніклю(Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України, 2007) Степаненко, Андрій Олександрович; Гричановська, Тетяна Михайлівна; Чорноус, Анатолій Миколайович; Hrychanovska, Tetiana Mykhailivna; Гричановская, Татьяна Михайловна; Chornous, Anatolii Mykolaiovych; Чорноус, Анатолий Николаевич; Stepanenko, Andrii Oleksandrovych; Степаненко, Андрей АлександровичДосліджено вплив температурної обробки на питомий електричний опір, температурний коефіцієнт опору і фазовий склад двошарових плівкових систем на основі Ті й Аl та Ті й Nі, загальна товщина яких не перевищує 100 нм. Показано, що відпалювання зразків при Тв = 800 К призводить до твердофазних реакцій між А1 і оксидом Ті (плівки Ті/Аl) та Ті й Nі (плівки Nі/Ті), продуктами яких є ТіА13 і Nі3Ті (у зразках, відпалених до 900-1000 К, фіксуються фази NiТі і NiТі2). Виявлено кореляцію між фазовим складом і електрофізичними властивостями двошарових плівкових систем. // Русск. версия: Исследовано влияние температурной обработки на удельное электрическое сопротивление, температурный коэффициент сопротивления и фазовый состав двухслойных пленочных систем на основе Ті и А1 или Ті и Nі, общая толщина которых не превышала 100 нм. Показано, что отжиг пленок при То = 800 К приводит к твердофазным реакциям между А1 и окислом Ті (пленки Ті/Аl) или Ті и Nі (пленки Nі/Ті), продуктами которых являются ТіА13 и Nі3Ті (в отожженных до 900-1000 К образцах фиксируются фазы NіТі и NіТі2). Установлена корреляция между фазовым составом и электрофизическими свойствами двухслойных пленочных систем. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/551Item Процеси фазоутворення у багатошарових плівкових системах на основі алюмінію та титану(Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України, 2009) Воробйов, Сергій Ігорович; Степаненко, Андрій Олександрович; Чорноус, Анатолій Миколайович; Шабельник, Юрій Михайлович; Воробьев, Сергей Игоревич; Vorobiov, Serhii Ihorovych; Шабельник, Юрий Михайлович; Shabelnyk, Yurii Mykhailovych; Чорноус, Анатолий Николаевич; Chornous, Anatolii Mykolaiovych; Степаненко, Андрей Александрович; Stepanenko, Andrii OleksandrovychДосліджено процеси фазоутворення у плівкових системах на основі Ті й Аl, яких одержано пошаровою конденсацією на підложжя, що переміщується з високою частотою між термічними випарниками відповідних первнів. Показано, що формування фази Ті3А1 відбувається у процесі конденсації системи Ті0,8А10,2, а фази ТіА13 — після відпалювання до 900 К плівкової системи Ті0,2А10,8. Виявлено кореляцію між фазовим складом і електрофізичними властивостями таких плівкових систем. // Русск. версия: Исследованы процессы фазообразования в пленочных системах на основе Ті и А1, которые получены послойной конденсацией на подложку, перемещаемую с высокой частотой между термическими испарителями соответствующих элементов. Показано, что формирование фазы Ті3А1 происходит в процессе конденсации системы Ті0,8А10,2, а фазы ТіА13 — после отжига до 900 К пленочной системы Ті0,2А10,8. Установлена корреляция между фазовым составом и электрофизическими свойствами таких пленочных систем. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/550