Факультет електроніки та інформаційних технологій (ЕлІТ)
Permanent URI for this communityhttps://devessuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/20
Browse
3 results
Search Results
Item Effect of Energy Factors on the Structure and Substructure Characteristics of Hafnium Diboride Films Deposited by RF Magnetron Sputtering(G. V. Kurdyumov Institute for Metal Physics of the N.A.S. of Ukraine, 2020) Гончаров, Максим Миколайович; Гончаров, Максим Николаевич; Honcharov, Maksym Mykolaiovych; Zykov, A.V.; Юнда, Андрій Миколайович; Юнда, Андрей Николаевич; Yunda, Andrii Mykolaiovych; Шелест, Ігор Владиславович; Шелест, Игорь Владиславович; Shelest, Ihor Vladyslavovych; Буранич, Володимир Володимирович; Буранич, Владимир Владимирович; Buranych, Volodymyr VolodymyrovychIn this paper, the influence of energy factors, such as the bias potential, current density, deposition rate, on the formation of the structure and substructure of hafnium diboride films deposited using RF magnetron sputtering is analysed. As shown, the structural changes from a quasi-amorphous to a nanocrystalline state with a growth texture occur due to changes in energy factors.Item Zinc-Nanosystem-Structure Formation Using Anodic-Oxidized Aluminum Membranes(Pleiades Publishing, Ltd., 2017) Корнющенко, Ганна Сергіївна; Корнющенко, Анна Сергеевна; Korniushchenko, Hanna Serhiivna; Перекрестов, Вячеслав Іванович; Перекрестов, Вячеслав Иванович; Perekrestov, Viacheslav Ivanovych; Наталіч, Вікторія Вадимівна; Наталич, Виктория Вадимовна; Natalich, Viktoriia Vadymivna; Загайко, Інна Володимирівна; Загайко, Инна Владимировна; Zahaiko, Inna VolodymyrivnaWe propose a new method for the formation of zinc nanosystems by condensation of a weakly supersaturated Zn vapor in pores of the anodic-oxidized aluminum membrane (AOA)–silicon substrate sys- tem. For this purpose, a weak Zn vapor flow is created by magnetron sputtering of Zn target in a high-purity inert gas atmosphere and maintaining a temperature of the porous AOA membrane outer surface higher than that of the substrate. This drives a directional Zn vapor flow inward membrane parallel to the pore generatrix and favors effective penetration of Zn vapor into the membrane.Item Formation of porous zinc nanosystems using direct and reverse flows of DC magnetron sputtering(STC Institute for single Crystals, 2017) Латишев, Віталій Михайлович; Латышев, Виталий Михайлович; Latyshev, Vitalii Mykhailovych; Перекрестов, Вячеслав Іванович; Перекрестов, Вячеслав Иванович; Perekrestov, Viacheslav Ivanovych; Корнющенко, Ганна Сергіївна; Корнющенко, Анна Сергеевна; Korniushchenko, Hanna Serhiivna; Загайко, Інна Володимирівна; Загайко, Инна Владимировна; Zahaiko, Inna VolodymyrivnaУ роботі проведено порівняльний аналіз двох механізмів структуроутворення наносистем Zn. У першому класичному варіанті формування наносистем відбувалося на підігрітих підкладках, які розташовані перед магнетронним розпилювачем. Другий варіант заснований на конденсації обернених дифузійних потоків розпиленої речовини на підкладки, які розташовані у порожнині магнетронного розпилювача. Показано, що у порівнянні з класичним варіантом, використання обернених дифузійних потоків призводить до більш вісокої відтворюваності технологічного процесу і до суттєвого підвищення швидості нарощування наносистем.