Вплив електричного поля на ріст конденсатів при малих пересиченнях у системі плазма-конденсат
No Thumbnail Available
Date
2013
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Сумський державний університет
Theses
Date of Defense
Scientific Director
Speciality
Date of Presentation
Abstract
В даній роботі використовується система «плазма–конденсат», створена на основі магнетронного розпилювача та пустотілого катоду, в якій підкладки розташовуються в катодному вузлі і речовина конденсується в зворотних дифузійних потоках. Від'ємний потенціал та присутність електричного поля над ростовою поверхнею суттєво впливають на рух
Keywords
конденсат, condensate, електричне поле, электрическое поле, electric field
Citation
Вплив електричного поля на ріст конденсатів при малих пересиченнях у системі плазма-конденсат [Текст] / О.В. Карчова, Ю.О. Космінська, Г.С. Корнющенко, В.І. Перекрестов // Фізика, електроніка, електротехніка : матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 22-27 квітня 2013 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. - Суми : СумДУ, 2013. - С. 71.