Дослідження процесів формування багатошарових анізотронних нано-розмірних структур адсорбату при конденсації та епітаксіальному рості

Abstract

Метою роботи є встановлення умов та iнтервалiв змiни основних параметрiв системи, що зводяться до коефiцiєнту адсорбцiї, енергiї взаємодiї адсорбату мiж собою та сили анiзотропiї вертикальної дифузiї адатомiв, що зводиться до сили пiдведеного до пiдкладки зовнiшнього електричного поля в системi плазма-конденсат з урахуванням анiзотропiї вертикальної дифузiї адатомiв мiж шарами багатошарової системи, коли на поверхнi пiдкладки з плином часу можливим стає формування вiдокремлених структур адсорбату. До мети вiдноситься встановлення залежностi стацiонарних значень концентрацiї адсорбату вiд основних параметрiв системи; визначення умов реалiзацiї переходiв першого роду плазма-конденсат; встановлення залежностi середньої вiдстанi мiж вiдокремленими структурами вiд керуючих параметрiв.