Механізми розсіювання носіїв заряду в тонких плівках рутенію

Abstract

Мета роботи полягала у дослідженні механізмів розсіювання носіїв заряду в тонких плівках Ru шляхом експериментального вивчення електрофізичних властивостей тонкоплівкових зразків Ru та теоретичних розрахунків по відомих моделях питомого опору тонких плівок. У результаті виконання роботи була отримана експериментальна залежність питомого опору тонких плівок рутенію від товщини зразків. На її основі були здійснені розрахунки по моделі Фукса - Зондгеймера. За розрахунками було встановлено, що в тонких плівках рутенію середні довжина вільного пробігу носіїв заряду приблизно дорівнює 0,18 нм, а основним механізмом їх розсіювання є розсіювання по межах зерен. При виконанні роботи був використаний метод вакуумного електронно-променевого випарування, контроль товщини плівок методом кварцового резонатора, двоточковий метода вимірювання опору тонких плівок від температури, методика апробації метода Фукса-Зондгеймера.