Імплантація іонів низьких та високих енергій у багатокомпонентні та багатошарові покриття: мікроструктура та властивості

Abstract

Мета роботи – встановлення закономірностей впливу виду іонів, їх дози і

енергії на елементний склад, структурно-фазовий та напружено- деформований стан, а також механічні і трибологічні властивості

багатошарових наноструктурних покриттів на основі нітридів перехідних та тугоплавких металів з теоретичної та експериментальної точки зору. Об’єкт дослідження – фізичні та хімічні процеси утворення радіаційних дефектів у багатошарових та багатоелементних нітридних покриттях на основі перехідних та тугоплавких металів, процеси фазоутворення та дифузії, та механічні та трибологічні властивості покриттів до та після іонної імплантації. Предмет дослідження – фізичні, хімічні, механічні та трибологічні властивості багатошарових та багатоелементних наноструктурних нітридних покриттів на основі перехідних та тугоплавких металів викликані в результаті імплантації іонів Au- , Si+ , Xe+ різних доз та енергій у їх поверхню.