Структура и свойства нанокомпозитных комбинированных покрытий с высокой твердостью, которые используются в электронной технике. Отработка режимов осаждения в зависимости от потенциала и давления смеси газов (азот и аргон) на подложку
No Thumbnail Available
Date
2011
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Вид-во СумДУ
Technical report
Date of Defense
Scientific Director
Speciality
Date of Presentation
Abstract
Объектом исследования является влияние параметров осаждения на ми-кротвердость покрытий, термическую стабильность сверхтвердых наноком-позитов и гетероструктур, также разработка новых свойств покрытий и мно-гокомпонентных твердых наноструктур (нанокомпозитных покрытий) на ос-нове Ti-Hf -Si-N, Zr-Ti-Si-N.
Предмет исследования – определение наиболее оптимальных параметров осаждения для достижения максимальной микротвердости нанокомпозитного покрытия.
Цель работы – изучить условия проведенения эксперимента по увеличе-нию прочностных характеристик в гетероструктурных и сверхтвердых нано-композитных покрытиях. Провести отработку режимов нанесения покрытий на основе Ti-Zr-Si-N методами вакуумно-дугового осаждения.
При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/27280
Keywords
вакуумно-дуговое осаждение, микротвердость, нанокомпозитные покрытия, электронная структура, прочность, декогезия
Citation
Структура и свойства нанокомпозитных комбинированных покрытий с высокой твердостью, которые используются в электронной технике. Отработка режимов осаждения в зависимости от потенциала и давления смеси газов (азот и аргон) на подложку : отчет о НИР (промежуточный) / Рук. А.Д. Погребняк. - Сумы : Сумской государственный университет, 2011. - 29 с.