Морфологія та структурні властивості плівок ZnO отриманих методом спрей-піролізу

Abstract

В останні десятиліття плівкове матеріалознавство почало вивчення нового класу електронних матеріалів – напівпровідникових оксидів. Серед них особливу увагу привертає оксид цинку (ZnO), який характеризується термічною, радіаційною та хімічною стабільністю в атмосфері, широкою забороненою зоною (Eg = 3.37 еВ) та великою енергією утворення екситонів (60 меВ). Завдяки поєднанню оптичних, електричних та п’єзоелектричних властивостей оксид цинку інтенсивно використовується в газових сенсорах, вимірювачах тиску, біосенсорах. Серед широкого спектру методів отримання ZnO особливу увагу привертає метод спрей-піролізу, який є технологічною, дешевою, безвакуумною технікою отримання якісних плівок для приладового використання. Слід відмітити, що на основні властивості плівок досить значний вплив чинить температура підкладки (Ts). Це і обумовило мету роботи, дослідження впливу температури підкладки на морфологію та структурні властивості тонких плівок ZnO нанесених методом спрей-піролізу.