Пристрій для багатоточкового вимірювання опору плівок

Abstract

Плівки являють собою шари матеріалу з товщиною від кількох нанометрів до мікронів, які наносяться на підкладку. Різноманітні фізичні та хімічні властивості роблять їх придатними для застосування у багатьох технологічних процесах. Електричний опір плівок є параметром, що відображає їхню здатність проводити електричний струм в залежності від структури, товщини та зовнішніх впливів. Точне вимірювання опору дозволяє оцінити якість плівок, встановити характеристики власних і домішкових дефектів, дослідити вплив технологічних параметрів на її властивості та розробляти нові функціональні матеріали. Традиційні методи вимірювання опору, такі як дво- та чотириконтактні зондові методи, часто є трудомісткими та можуть не забезпечувати достатньої кількості точок вимірювання для детального аналізу. Тому розробка автоматизованого пристрою для вимірювання опору плівок є актуальною науково-технічною задачею.