Імплантація іонів низьких та високих енергій у багатокомпонентні та багатошарові покриття: мікроструктура та властивості
No Thumbnail Available
Date
2020
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Сумський державний університет
Technical report
Date of Defense
Scientific Director
Speciality
Date of Presentation
Abstract
Об’єкт дослідження – фізико-хімічні процеси утворення радіаційних дефектів у покриттях, процеси радіаційно-пришвидшеної дифузії, процеси фазоутворення, формування внутрішніх напружень та фізико-механічних властивостей у наноструктурних багатошарових покриттях на основі нітридів перехідних металів.
Мета роботи – встановлення закономірностей впливу умов осадження та дози і енергії імплантованих іонів на структурно-фазовий стан та фізико-механічні властивості багатошарових наноструктурних покриттів на основі нітридів перехідних металів.
Keywords
багатошарові покриття, опромінення дозами високих енергій, структура і властивості, многослойные покрытия, облучения дозами высоких энергий, структура и свойства, multilayer coatings, irradiation with doses of high energies, structure and properties
Citation
Імплантація іонів низьких та високих енергій у багатокомпонентні та багатошарові покриття: мікроструктура та властивості [Текст] : звіт про НДР (проміжний) / кер. О. Д. Погребняк. — Суми : СумДУ, 2020. — 34 с.