Тензорезистивні властивості плівкових наноструктур на основі пермалою та срібла

Abstract

У роботі представлені результати дослідження тензорезистивних властивостей (інтегральний) і диференціальний (коефіцієнти тензочутливості) тонкоплівкових наноструткур на основі пермалою Ni80Fe20 (Ру) та срібла (Ag), отриманих одночасною конденсацією компонент з двох незалежних джерел, а також дані для складових компонентів системи. Визначені основні закономірності тензорезистивних властивостей Py та Ag у діапазоні товщин d = 10-60 нм. Показано, що на концентраційних залежностях (спостерігається максимум при сAg  30-35 aт.%, прояв якого пов’язаний зі структурними зміна в плівковій системі, пов’язаними зі змінами характеру розподілу кристалітів та їх середнього розміру при зміні концентрації компонент.

The results of investigation strain properties (integral int and differential (dif strain coefficients) of thin film nanostructures based on permalloy Ni80Fe20 (Ру) silver (Ag), prepared by method of coevaporation from independent sources, and results for components of the systems are presented. The main peculiarities of Py and Ag strain properties in the range of thicknesses d 10-60 nm are determinate. It has been shown that the maximum at the сAg 30-36 at.% is observed at the concentration dependences of ()int. The presence of a maximum is due to the structural changes in the film systems.