Псевдоморфний ріст аморфної фази при магнетронному розпиленні
No Thumbnail Available
Date
2013
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Сумський державний університет
Theses
Date of Defense
Scientific Director
Speciality
Date of Presentation
Abstract
Дана робота присвячена розв'язку експериментальної задачі отримання надтонких суцільних металевих шарів на діелектричних підкладках. Головною проблемою на шляху вирощування таких шарів є
фундаментальні особливості нуклеації плівок, в тому числі явище перколяції, тобто формування досить великих острівців металу на початкових етапах росту плівки та їх поступове зрощування в процесі осадження. Товщина суцільної плівки, яка відповідає саме порогу перколяції, може становити величину більше 20 нм. Таким чином, для зменшення товщини плівки необхідно або знижувати поріг перколяції,
або уникати формування тривимірних острівців.
Keywords
плівки, пленки, film
Citation
Коваль, М.О. Псевдоморфний ріст аморфної фази при магнетронному розпиленні [Текст] / М.О. Коваль, Ю.О. Космінська, В.І. Перекрестов // Фізика, електроніка, електротехніка : матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 22-27 квітня 2013 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. - Суми : СумДУ, 2013. - С. 69.