Використання просвічуючої електронної мікроскопії для дослідження структурно-фазового стану багатошарових наноламінатів
No Thumbnail Available
Date
2021
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Сумський державний університет
Bachelor’s paper
Date of Defense
Scientific Director
Speciality
153 - Мікро- та наносистемна техніка
Date of Presentation
June 2021
Abstract
Об’єктом дослідження бакалаврської роботи є дослідження багатоелементних та багатошарових покриттів (Al50Ti50)N/ZrN методом просвічуючої електронної мікроскопії з використанням програмного середовища GATAN.
Обрані теоретичні методи дослідження, засновані на дослідженні багатошарових покриттів (Al50Ti50)N/ZrN методом просвічуючої електронної мікроскопії. Вивчено склад і еволюція мікроструктури при створенні наноламінатної архітектури з поетапним зменшенням періоду модуляції бішару, проведено літературний огляд актуальних досліджень багатошарових покриттів, зроблено узагальнюючі висновки щодо перспектив вдосконалення та розширення сфер застосування функціональних конденсатів.
Keywords
покриття, покрытия, coverings, просвічуючий електронний мікроскоп, просвечивающий электронный микроскоп, transmission electron microscope, мікроструктура, микроструктура, microstructure, вакуумно-дугове осадження, вакуумно-дуговое осаждение, Arc-PVD
Citation
Деркач, А.В. Використання просвічуючої електронної мікроскопії для дослідження структурно-фазового стану багатошарових наноламінатів [Текст]: робота за здобуття кваліфікаційного рівня бакалавра; спец.: 153 – мікро- та наносистемна техніка / А.В. Деркач; наук. кер. Я.О. Кравченко. – Суми: СумДУ, 2021. – 38 с.