Структурні характеристики плівок твердого розчину (Zn, Mg) O, осаджених методом пульсуючого спрей-піролізу
No Thumbnail Available
Date
2017
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Сумський державний університет
Theses
Date of Defense
Scientific Director
Speciality
Date of Presentation
Abstract
Напівпровідникові оксидні сполуки знаходять все більшого застосування в електроніці, однак для цього їх структурні та оптичні властивості повинні чітко відповідати конкретним застосуванням. Для керування фізичними властивостями шарів напівпровідників застосовують введення ізовалентних домішок, при цьому твердий розчин набуває проміжних між вихідними сполуками характеристик. Для проведення структурних досліджень зразків застосовувався метод рентгеноструктурного аналізу. Шляхом порівняння міжплощинних відстаней і відносної інтенсивності досліджених зразків і еталона (картки JCPDS) було проведено фазовий аналіз отриманих плівок.
Keywords
напівпровідникова оксидна сполука, полупроводниковое оксидное соединение, semiconductor oxide compound, твердий розчин, твердый раствор, solid solution, рентгеноструктурний аналіз, рентгеноструктурный анализ, x-ray analysis
Citation
Владзієвська, П.А. Структурні характеристики плівок твердого розчину (Zn, Mg) O, осаджених методом пульсуючого спрей-піролізу[Текст] / П.А. Владзієвська, О.В. Д’яченко, А.С. Опанасюк // Фізика, електроніка, електротехніка: матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 17-21 квітня 2017 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. – Суми: СумДУ, 2017. – С. 154.