Метод формування ультратонких металевих плівок
No Thumbnail Available
Date
2016
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Сумський державний університет
Theses
Date of Defense
Scientific Director
Speciality
Date of Presentation
Abstract
Для деяких сучасних практичних проблем наноплазмоніки, пов’язаних з передачею оптичного сигналу через багатошарові метало-діелектричні структури,ставиться технологічна задача створення надтонких і суцільних металевих плівок. При малих товщинах металевих прошарків відбувається зв’язування поверхневих плазмонів. Зазвичай отримати суцільні шари товщиною порядку десятка нанометрів і нижче складно внаслідок проблеми перколяції, оскільки при малій кількості осадженої речовини металева плівка зростає по механізму Фольмера-Вебера через формування тривимірних острівців.
Keywords
металеві плівки, металлические пленки, metal films
Citation
Манжола, Б. Метод формування ультратонких металевих плівок [Текст] / Б. Манжола, Ю.О. Солдатенко, А.С. Корнющенко // Фізика, електроніка, електротехніка: матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 18-22 квітня 2016 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. - Суми: СумДУ, 2016. - С. 108.