Спосіб одержання плівок напівпровідникових твердих розчинів Cu2MgxZn1-xSnS4
No Thumbnail Available
Date
2023
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Український національний офіс інтелектуальної власності та інновацій
Patent
Date of Defense
Scientific Director
Speciality
Date of Presentation
Abstract
Спосіб одержання плівок напівпровідникових твердих розчинів Cu2MgxZn1-xSnS4 (0<х<1) включає приготування молекулярного багатокомпонентного розчину, складовими якого є вихідні солі цинку, міді, олова, магнію та тіосечовина, з наступним нанесенням його на скляну підкладку. При цьому для приготування молекулярного багатокомпонентного розчину використовують водні розчини вихідних солей цинку, міді, олова та магнію, і нанесення молекулярного багатокомпонентного розчину здійснюють методом спрей-піролізу пульсуючим розпиленням на нагріту до 350 °C підкладку, при цьому кількість циклів розпилення складає від 50 до 250, і тривалість одного циклу - від 4 до 6 с, залежно від необхідної товщини плівки.
Keywords
напівпровідникові тверді розчини Cu2MgxZn1-xSnS4, semiconductor solid solutions Cu2MgxZn1-xSnS4, спрей-піроліз, spray pyrolysis, пульсуюче розпилення, pulsating spray
Citation
Пат. 153358 U Україна, МПК (2023.01) H01L 21/00, B82Y 40/00. Спосіб одержання плівок напівпровідникових твердих розчинів Cu2MgxZn1-xSnS4 / Р. М. Пшеничний, А. С. Опанасюк, М. С. Єрмаков (Україна); заявник та патентовласник Сумський державний університет. - № u202204900; заявл. 21.12.2022; опубл. 22.06.2023, Бюл. № 25. 7 c.