Електрофізичні властивості та кристалічна структура плівок алюмінію

No Thumbnail Available

Date

2005

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

Видавництво СумДУ
Article

Date of Defense

Scientific Director

Speciality

Date of Presentation

Abstract

Проведено дослідження структурних характеристик і електрофізичних властивостей плівок алюмінію в інтервалі товщин 20-150 нм, отриманих при температурі підкладки 300 К та пройшовши термообробку до 870К. Показано. Що при температурі 82010 К спостерігається різке збільшення питомого електричного опору, ступінь якого залежить від товщини плівок. Здійснено розрахунок параметрів електроперенесення за лінеарізованою та ізотропною моделями Ательє, Тоссе і Пішар. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/701

Keywords

властивості плівок алюмінію, свойства пленок алюминия, кристалічна структура, кристалическая структура, kristalicheskaya structure, електрофізичні властивості, электрофизические свойства, electro-physical properties

Citation

Басов, А.Г. Електрофізичні властивості та кристалічна структура плівок алюмінію [Текст] / А.Г. Басов, А.О. Степаненко, А.М. Чорноус // Вісник Сумського державного університету. Серія Фізика, математика, механіка. — 2005. — №8(80). — С. 170-176.

Endorsement

Review

Supplemented By

Referenced By