Особенности базовых технологических процессов тонкопленочной технологии
No Thumbnail Available
Files
Date
2005
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво СумДУ
Theses
Date of Defense
Scientific Director
Speciality
Date of Presentation
Abstract
Keywords
тонкі плівки, тонкие пленки, thin films
Citation
Редько, О.Н.
Особенности базовых технологических процессов тонкопленочной технологии [Текст] / О.Н. Редько, Н.Н. Опанасюк // Тези науково-технічної конференції викладачів, співробітників, аспірантів і студентів фізико-технічного факультету : 18-29 квітня 2005 р. / Ред. кол.: Г.С. Воробйов, А.І. Новгородцев, О.В. Кобзарь. — Суми : СумДУ, 2005. — С. 141.