Магнітоелектричні пристрої на основі п'єзоелектричних композиційних матеріалів

Abstract

Актуальність тематики обумовлена зростаючим попитом на компактні, високочастотні та енергоефективні пристрої для сенсорних і телекомунікаційних систем. Поверхневоакустичні пристрої (SAW) на основі п’єзоелектричних матеріалів, зокрема AlN, демонструють високу чутливість, стабільність та інтегративність із сучасними мікроелектронними платформами, проте їх ефективність значно залежить від паразитних впливів, таких як відбиті об’ємні акустичні хвилі (BAW). Мета кваліфікаційної роботи полягала у дослідженні фізичних принципів функціонування магнітоелектричних пристроїв на основі п’єзоелектричних композиційних матеріалів, а також у побудові та аналізі математичної моделі SAWпристрою із урахуванням впливу відбитих об’ємних акустичних хвиль (BAW) на його робочі характеристики. Методи і методики: чисельне моделювання у часовій області, застосування п’єзоелектричного модуля FEM, аналіз електричних та механічних характеристик SAW-пристрою. Рекомендації щодо використання: результати роботи можуть бути використані для оптимізації конструкцій SAW-пристроїв у складі сенсорних систем, фільтрів та мікрохвильових модулів, зокрема в умовах, де критично важливе зниження паразитних ефектів.