Моделювання процесу магнетронного розпилення в інструменті SIMTRA
No Thumbnail Available
Date
2018
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Сумський державний університет
Bachelor’s paper
Date of Defense
Scientific Director
Speciality
Date of Presentation
Abstract
Основною задачею роботи є комп’ютерне моделювання залежності параметрів масоперенесення в процесі іонно-плазмового розпилення та осадження атомів від тиску та відстані між мішенню і підкладкою в планарному магнетронному розпилювачі з використанням інструменту SIMTRA (SImulation of Metal TRAnsport).
Keywords
магнетронне розпилення, магнетронное распыление, magnetron sputtering, планарний магнетрон, планарный магнетрон, planar magnetron, термалізація, термализация, thermalization, SIMTRA, фізичне осадження пари, физическое осаждение паров, physical vapour deposition
Citation
Соболєва, М.І. Моделювання процесу магнетронного розпилення в інструменті SIMTRA [Текст]: робота за здобуття кваліфікаційного ступеня бакалавра; спец.: 6.050801 – мікро- та наноелектроніка / М.І. Соболєва; наук. керівник Ю.О. Космінська. – Суми: СумДУ, 2018. – 68 с.