Взаємозв`язок електрофізичних властивостей та фазового складу плівок титану
No Thumbnail Available
Files
Date
2008
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво СумДУ
Article
Date of Defense
Scientific Director
Speciality
Date of Presentation
Abstract
У роботі досліджено фазовий склад, кристалічну структуру та електрофізичні властивості плівок титану після термообробки до 920 K. Показано, що на температурній залежності питомого опору мають місце особливості, пов`язані із процесами окислення у плівкових зразках, а температура окислення плівок є розмірно-залежною.
При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/1139
Keywords
електрофізичні властивості, фазовий склад, плівки титану, электрофизические свойства, фазовый состав, пленки титана, electrophysical properties, phase composition, titanium thin films
Citation
Соломаха, В.А. Взаємозв’язок електрофізичних властивостей та фазового складу плівок титану [Текст] / В.А. Соломаха, А.М. Чорноус // Вісник Сумського державного університету. Серія Фізика, математика, механіка. — 2008. — №1. — С. 58-65.