Оптичні характеристики плівок халькогенідів

Abstract

Об’єктом дослідження кваліфікаційної роботи є оптичні характеристики плівок халькогенідів. Мета роботи полягає у дослідженні, огляді літературних джерел, визначення параметрів та оптичних характеристик плівок халькогенідів. Досліджено структурну та оптичну еволюцію тонких плівок ZnS, одержаних осадженням атомного шару (ALD) з діетилцинку (DEZ) та 1,5-пентандітіолу (PDT) як попередників цинку та сірки. Осаджений шар ZnS (близько 60 нм) є аморфним, зі значним надлишком S. Після відпалу стехіометрія покращилася при температурі відпалу ≥400 ° С і часу відпалу ≥2 год., А стехіометрія 1: 1 була отримана при відпалі при температурі 500 ° С протягом 4 год. ZnS кристалізувався у дрібні кристаліти (1–7 нм) з кубічною сфалеритовою структурою, які залишалися стабільними при застосованих умовах відпалу. Розмір кристалітів ( D ), як правило, зменшувався при температурі відпалу, відповідно до даних ЕДС (зменшення вмісту S і Zn з температурою відпалу); Dдля зразків, відпалених при температурі 600 ° C (за час ≤2 год), завжди було найменшим. Як відбивна, так і еліпсометрична спектри показали характеристики, характерні для квантового утримання (виразні занурення / піки в УФ-спектральній області).