Исследование структурых особенностей нанокристал-лических пленок MgO, полученных методом спрей-пролиза

Abstract

В работе методом рентгендифрактометрии исследованы пленки, полученные методом спрей-пиролиза с использованием в качестве прекурсора раствора хлорида магния. Определен интервал температур подложек, где растут пленки кубического оксида магния с нанокристаллической структурой. Параметры кристаллической решетки соединения составляли а = 0,42345 нм для слоев, нанесенных при Ts = 380 0C, и а = 0,42121 нм при Ts = 400 0C, что хорошо коррелирует со справочными данными.

A spray pyrolysis method has been applied to prepare MgO thin films on glass substrates by using magnesium chloride hexahydrate as starting reactants. Structural properties of the films have been investigated. The experimental results revealed that the substrates temperature played important roles in the formation MgO film.