О возможности формирования монокристаллических конденсатов алюминия на изотропных подложках при помощи самоорганизованных ионных распылителей
No Thumbnail Available
Date
2006
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Письма в ЖТФ
Article
Date of Defense
Scientific Director
Speciality
Date of Presentation
Abstract
Предложен принципиально новый технологический подход самоорганизации монокристаллического состояния Al на изотропных подложках при стационарной конденсации обратных диффузионных потоков планарного магнетрона. Проанализированы функциональные возможности самоорганизованных ионных распылителей.
При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4361
Keywords
ионные распылители, монокристаллический конденсат
Citation
Перекрестов, В.И. О возможности формирования монокристаллических конденсатов алюминия на изотропных подложках при помощи самоорганизованных ионных распылителей [Текст] / В.И. Перекрестов, А.С. Корнющенко, Ю.А. Косминская // Письма в ЖТФ. — 2006. — том 32. — вып. 20. — с. 1-6