Високочутливі елементи сенсорів магнітного поля на основі FeNi, Co та Cu

Abstract

Мета роботи полягає у встановленні загальних закономірностей впливу умов термообробки на магніторезистивні властивості на основі FeNi, Co та Cu. Під час виконання роботи використовувалися методи резистометрії в умовах високого безмасляного вакууму та впливу зовнішніх магнітних полів та прилади: ВУП-5М, установка для проведення термообробки та дослідження магніторезистивних властивостей. У результаті проведених досліджень встановлено, що для свіжосконденсованих та термостабілізованих за температур 400 К тришарових функціональних елементів датчиків магнітного поля Fe_(0,6)Ni_(0,4)/Cu/ Fe_(0,6)Ni_(0,4) фіксуються ізотропні польові залежності. Величина від'ємного магнітоопору складає 0,1-0,3%. Після термостабілізації за температури 550 К спостерігається анізотропний характер магнітоопору. Величина поздовжнього магнітоопору складає 0,5% - поперечного 0,05%. Після термостабілізації за температури 700 К величина поздовжнього і поперечного магнітоопору складає 0,3-0,4%.