Моделювання зміни морфології зростаючої тонкої плівки індуковані ефектами електроміграції при конденсації з газової фази

Abstract

В роботі дослiджено процеси впливу ефектiв електромiграцiї на змiну морфологiї стiйких поверхневих структур адсорбату та стiйких отворiв в матрицi адсорбату на першому зростаючому шарi наноструктурованої тонкої плiвки у процесах конденсацiї з газової фази; встановлення областi значень тиску газової фази та температури коли у рамках побудованої моделi у процесах конденсацiї будуть формуватися стiйкi поверхневi структури; проведення числового моделювання процесу формування стiйких поверхневих структур адсорбату та стiйких отворiв в матрицi адсорбату та проведення аналiзу змiну морфологiї отриманих структур iндуковану ефектами електромiграцiї при пiдведеннi електричного поля рiзної напруженостi.