MWCNT Thin Films by CVD Method and Some Applications

Abstract

Хімічне осадження з парової фази (CVD) використовується в цьому дослідженні для створення тонких плівок на основі MWCNTs. Дослідження методом рентгенівської дифракції (XRD) показує, що є кілька сильних піків при 2θ ~ 35,5°; 54°; 57° і 62°, які відносять відповідно до площин (222), (004), (104) і (015). Це дозволяє зробити висновок, що зразок є полікристалічним за своєю природою з гексагональною кристалічною структурою. Зображення скануючого електронного мікроскопа з польовою емісією (FE-SEM) підкреслюють форму CNTs, отриманих на частинках каталізатора за допомогою процесу CVD. MWCNTs синтезуються в різноманітних формах, у тому числі з прямим розташуванням, розгалуженням, котушковими структурами на основі MWCNT, фігурними та спіральними структурами. Можливий зменшений датчик; це може призвести до того, що датчик буде легшим, дешевшим і споживатиме менше енергії. Тонка плівка на основі MWCNT виготовляється як датчик газу на скляних підкладках, де досліджуються гази CH4 і CO2 з концентраціями 1, 2, 3 і 4 ppm, і це дослідження проводиться, щоб побачити, як поглинання газів CH4 і CO2 впливає на зміну опору гранул CNTs. Згідно з дослідженням, CNTs дуже чутливі до таких газів, як CH4 і CO2. Очікується, що майбутні дослідження датчиків на основі CNTs будуть зосереджені на широкому діапазоні застосувань, оскільки інтерес дослідницького співтовариства нанотехнологій до цієї галузі зростає.Chemical Vapor Deposition (CVD) is employed in this study to create MWCNT thin films. The examination of X-ray diffraction (XRD) shows that there are several strong peaks at 2θ ~ 35.5°, 54°, 57°and 62° which are attributed to the (222), (004), (104) and (015) planes, respectively. This leads to the conclusion that the sample is polycrystalline in nature with a hexagonal crystalline structure. The Field Emission Scanning Electron Microscope (FE-SEM) images highlight the shape of CNTs produced on catalyst particles using the CVD process. MWCNTs are synthesized in a variety of forms, including straight arrangement, branching arrangement, coil MWCNT structures, curly and helical-shaped structures. A reduced sensor is conceivable; this could result in a sensor that is lighter, cheaper and consumes less power. A MWCNT thin film is fabricated as a gas sensor based on glass substrates, where CH4 and CO2 gases with concentrations of 1, 2, 3 and 4 ppm are examined, and this study is conducted to see how the absorption of CH4 and CO2 gases affects the change in the resistance of CNT pellets. According to the study, CNTs are highly sensitive to gases like CH4 and CO2. Future research into CNT-based sensors is expected to focus on a wide range of applications as the interest of the nanotechnology research community in this area grows.