Структурні властивості тонких плівок ZnO, отриманих методом спрей-піролізу
No Thumbnail Available
Date
2013
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Сумський державний університет
Theses
Date of Defense
Scientific Director
Speciality
Date of Presentation
Abstract
Тонкі плівки оксиду цинку в наш час отримують такими методами як магнетронне розпилення, хімічне осадження з газової пари, зольгель технологія, спрей-піроліз та ін. Завдяки використанню нескладного технічного обладнання, простоті керування процесом осадження, можливості нанесення плівок великої площі на довільні підкладки найбільш перспективним серед них є метод спрей-піролізу.
Мета роботи полягала в виборі вихідних хімічних компонентів для осадження плівок ZnO методом спрей-піролізу, дослідженні структурних властивостей нанесених шарів.
Keywords
тонкі плівки, тонкие пленки, thin films, спрей-піроліз, спрей-пиролиз, spray pyrolysis
Citation
Доброжан, О.А. Структурні властивості тонких плівок ZnO, отриманих методом спрей-піролізу [Текст] / О.А. Доброжан, О.С. Авраменко, М.Н. Опанасюк // Фізика, електроніка, електротехніка: матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 22-27 квітня 2013 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. - Суми: СумДУ, 2013. - С. 110.