Спосіб отримання товстих полікристалічних плівок Cd(1-x)Zn(x)Te(1-y)Se(y) з підвищеним вмістом ZN
No Thumbnail Available
Date
2022
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Український ін-т інтелектуальної власності
Patent
Date of Defense
Scientific Director
Speciality
Date of Presentation
Abstract
Об'єктом корисної моделі є спосіб отримання товстих полікристалічних плівок Сd(1-x)Zn(x)Te(1-y)Se(y) з підвищеним вмістом Zn шляхом сублімації порошків вихідних матеріалів за допомогою термічного вакуумного напилення у квазізамкнутому об'ємі на скляні підкладки зі струмопровідним шаром.
Keywords
полікристалічні плівки Сd(1-x)Zn(x)Te(1-y)Se(y), polycrystalline films Сd(1-x)Zn(x)Te(1-y)Se(y), сублімація порошків, sublimation of powders, вакуумне напилення, vacuum spraying
Citation
Пат. 150961 Україна, МПК H01L 31/18 (2006.01), C23C 14/22 (2006.01), C23C 14/06 (2006.01), C23C 16/448 (2006.01). Спосіб отримання товстих полікристалічних плівок Cd(1-x)Zn(x)Te(1-y)Se(y) з підвищеним вмістом ZN / А.В. Шамардін, Д.І. Курбатов, Я.В. Знаменщиков; заявник та патентовласник Сумський держ. ун-т. № 202105942; заявл. 22.10.2021; опубл. 18.05.2022, Бюл. № 20. 6 с.