Effect of Grain Size on Strain in a Copper Oxide Nanofilm for Gas Sensing Applications

Abstract

У дослідженні наноплівка оксиду міді синтезується на скляній підкладці методом термічного випаровування для застосувань у газовій сенсориці. Під час осадження відстань між джерелом та підкладкою підтримується постійною, а тиск у камері становить 1,0x10 – 4 Тор. Швидкість осадження коливається від 6 до 10 Å/с. Товщина плівки підтримується постійною на рівні 150 нм. Плівку піддавали термічній обробці при різній температурі та протягом різного часового інтервалу, щоб отримати оптимальний результат. Структурне дослідження проводиться за допомогою формули Дебая-Шеррера. Рентгенодифракційний аналіз виявляє, що деформація збільшується зі зменшенням розміру зерна, що корисно для вивчення зондування різних газів.In this study, copper oxide nanofilm is synthesized on glass substrate by thermal evaporation technique for gas sensing applications. During deposition, the distance between source and substrate is kept constant and the pressure of the chamber is kept at 1.0x10 – 4 torr. The rate of deposition is varied from 6 to 10 Å/s. The thickness of the film is kept constant at 150 nm. The film is heat treated at varying temperature and for different time interval to get the optimum result. Structural study is done by using the DebyeScherrer formula. From XRD graph, strain analysis is carried out which reveals that strain increases with decrease in grain size which is useful to study gas sensing of different gases.