Формування збагачених Si, радіаційно-прискореною дифузією і мікросегрегацією ZrN/CrN наношарових покриттів
No Thumbnail Available
Date
2020
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Сумський державний університет
Master’s thesis
Date of Defense
Scientific Director
Speciality
153 - Мікро- та наносистемна техніка
Date of Presentation
December 2020
Abstract
В роботі представлені результати, що стосуються впливу імплантації іонів Si на мікроструктуру, склад і поверхневу трибологію функціональних наношарів CrN/ZrN. Досягнення і практичне розуміння еволюції структури і складу можуть бути використані в подальшому створенні нового радіаційно-стійкого устаткування і модифікації струму.
Keywords
дифузія, диффузия, diffusion, покриття, покрытие, coating, знос, износ, wear, тертя, трение, friction
Citation
Трецький, Б. В. Формування збагачених Si, радіаційно-прискореною дифузією і мікросегрегацією ZrN/CrN наношарових покриттів : робота за здобуття кваліфікаційного ступеня магістра : спец. 153 – мікро- та наносистемна техніка / наук. кер. О. Д. Погребняк. Суми : СумДУ, 2020. 40 с.