Високочутливий газовий сенсор на основі тришарової плівки Pt/TiO2/Pt
No Thumbnail Available
Date
2020
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Сумський державний університет
Master’s thesis
Date of Defense
Scientific Director
Speciality
Date of Presentation
December 2020
Abstract
Мета роботи полягає у аналізі особливостей при розробці конструкції
високочутливого напівпровідникового газового сенсору на основі тришарової
плівки Pt/TiO2/Pt, у тому числі і на підкладці із гнучкого матеріалу, а також у
вивченні його технічних характеристик, в тому числі при дії різних факторів.
У роботі описані та проаналізовані особливості конструкції чутливого
елементу напівпровідникового газового сенсора на основі тришарової плівки
Pt/TiO2/Pt. Дана багатошарова плівкова система була отримана методом
реактивного магнетронного розпилення на постійному струмі. Також при
виготовленні сенсору виготовлявся метод фотолітографії. При вимірюванні
електрофізичних властивостей сенсору (реакція зміни електроопору на
концентрацію газу) використовувався автоматизований комплекс, що
складається з газової камери, системи керування та реєстрації сигналу. Потік та
концентрація газу були керовані двома контролерами, які керуються через
програмне забезпечення.
Keywords
газовий сенсор, тришарова плівка, магнетронне розпилення
Citation
Макаренко, К.В. Високочутливий газовий сенсор на основі тришарової плівки Pt/TiO2/Pt [Текст]: робота на здобуття кваліфікаційного рівня магістра; спец.: 171 – електроніка / К.В. Макаренко; наук. керівник І.О. Шпетний. – Суми: СумДУ, 2020. – 37 с.