Розробка перспективних наноструктурних багатошарових покриттів з покращеними фізико-механічними та трибологічними властивостями

Abstract

В даній роботі виконано нанесення багатошарових покриттів MoN/CrN на сталеві підкладки методом вакуумно-дугового випаровування при різних умовах осадження. Проведено первинні дослідження структурного стану та фазового складу отриманих покриттів. Встановлено, що зміна потенціалу зміщення, що подається на підкладку від -20 до -150 V призводить до появи у покриттях різних структур: від кубічної (типу NaCl) до утворення твердого розчину. Також це призводить до формування в шарах покриттів переважаючої текстури з віссю [100]. Аналіз поперечних перерізів покриттів свідчить про гарну якість отриманих покриттів, що виражається в чіткій планарності шарів та їх відокремленню один від одного. Зменшення товщин біслоїв MoN та CrN, і перехід цього показника до нанометрового масштабу (порядка 35 nm) призводить до суттєвого зростання нанотвердості від 15 до 30 GPa.