Моделювання електрофізичних властивостей плівкових матеріалів електроніки з різною архітектурою

Abstract

Мета роботи полягала в дослідженні особливостей електрофізичних властивостей (термічний коефіцієнт опору – ТКО; коефіцієнт поздовжньої тензочутливості - КТ) плівкових матеріалів електроніки з різною архітектурою двошарових плівкових систем Co(Cu), Ag(Ni), Fe(Ni), Аg(Co), Cr/Ni/П, Cr/Со/П, Ag/Cr/П, Ag/Ni/П, Fe/Ni/П, Ni/Co/П, Mo/Co/П. У результаті виконання роботи були проведені розрахунки ТКО та КТ для двошарових систем з різною архітектурою, а саме: систем, в якій зберігається індивідуальність окремих шарів (модель біпластини); систем у вигляді плівкового сплаву по всій товщині вихідної двошарових систем; систем з проміжним шаром плівкового сплаву біля інтерфейсу. При виконанні досліджень такого характеру використовуються такі методи: електронно-променевого випаровування для отримання тонких плівок, метод кварцового резонатора для виміру товщини плівки, метод просвічувальної електронної мікроскопії і електронографії для дослідження кристалічної структури і фазового складу плівкових систем; методики для виміру залежностей (термічний коефіцієнт опору, коефіцієнт поздовжньої тензочутливості).