Роль азота в формировании наноколонарных пленок нитрида углерода при реактивном магнетронном осаждении

Abstract

Наноструктурный нитрид углерода имеет большие перспективы применения от водородной энергетики до функциональных сенсорных элементов. Одним из методов получения такого рода материалов является магнетронное распыление. Особенностью магнетронного разряда является образование быстрых атомов и вторичных электронов в результате бомбардировки катода ионами, которые обеспечивают самоподдерживающийся разряд. Из-за большей плотности атомов распыляемого вещества по сравнению с плотностью атомов насыщенного пара происходит нуклеация пара, приводящая к образованию кластеров.