Лазерна обробка в електронній техніці
No Thumbnail Available
Date
2019
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Сумський державний університет
Bachelor’s paper
Date of Defense
Scientific Director
Speciality
171 - Електроніка
Date of Presentation
June 2019
Abstract
Об’єктом дослідження кваліфікаційної роботи є лазерна мікрообробка в електронній техніці.
Мета роботи полягає у вивченні використання лазерного випромінювання для обробки матеріалів, електронних структур, елементів електронної техніки.
Вивчено можливості застосування лазерного випромінювання для обробки матеріалів сучасної електроніки, зокрема для епітаксії, зміни електроопору, очищення поверхні, легування та перерозподілу домішки, рекристалізації аморфних і полікристалічних шарів, гетерування домішок, тощо.
В першому розділі проведено огляд основ роботи лазерів та фізичних процесів лазерного випромінювання. В другому розділі вивчено методи лазерної мікрообробки в електронному приладобудуванні. В третьому розділі було розглянуто застосування лазерної обробки в електронній техніці.
Keywords
лазерне випромінювання, лазерное излучение, laser radiation, взаємодія лазерного випромінювання з речовиною, взаимодействие лазерного излучения с веществом, interaction of laser radiation with matter, схема лазерної установки, схема лазерной установки, scheme of laser facility
Citation
Пєвнєв, М.В. Лазерна обробка в електронній техніці [Текст]: робота на здобуття кваліфікаційного ступеня бакалавра; спец.: 171 - електроніка / М.В. Пєвнєв; наук. керівник І.П. Бурик. – Конотоп: КІ СумДУ, 2019. – 43 с.