Проявление селективных процессов при формировании слоев алюминия вблизи фазового равновесия в системе плазма-конденсат
No Thumbnail Available
Date
2008
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Журнал технической физики
Article
Date of Defense
Scientific Director
Speciality
Date of Presentation
Abstract
Изучены механизмы порообразования в конденсатах алюминия при использовании принципиального нового технологического подхода, основанного на применении самоорганизованных распылительных систем. Установлено, что основные технологические параметры порообразования определяются близостью к фазовому равновесию в системе плазма-конденсат и преобладающим вкладом в поатомную сборку конденсата структурной или полевой селективностей.
При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4130
Keywords
самоорганизованная распылительная система, система плазма-конденсат
Citation
Перекрестов, В.И. Проявление селективных процессов при формировании слоев алюминия вблизи фазового равновесия в системе плазма-конденсат [Текст] / В.И. Перекрестов, А.С. Корнющенко, Ю.О. Косминская // Журнал технической физики. —2008. —том 78. —вып.10. —с. 117-124