Конденсація парів вуглецю за допомогою самоузгоджених іонних розпилювачів
No Thumbnail Available
Date
2008
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Вид-во СумДУ
Theses
Date of Defense
Scientific Director
Speciality
Date of Presentation
Abstract
В даній роботі пропонується метод поатомного синтезу вуглецевих конденсатів, в якому використовується новий технологічний підхід, оснований на роботі самоузгоджених іонних розпилювальних систем. Ці системи самостійно забезпечують стаціонарність процесу
та гранично низькі пересичення осаджуваної речовини, яка конденсується лише за умови формування таких хімічних зв’язків атомів вуглецю з ростовою поверхнею, енергія яких вища за деяке критичне
значення. Частина конденсованої речовини, що не відповідає цій умові, фізичним способом видаляється з поверхні росту, і це сприяє селективному росту конденсату.
В роботі досліджується взаємозв’язок між технологічними параметрами осадження та структурою і фазовим складом результуючого
вуглецевого шару на підкладці.
При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4061
Keywords
вуглець, конденсація парів, іонні розпилювачі, углерод, конденсация паров, ионные распылители, carbon, vapor condensation, ion spray
Citation
Перекрестов, В.І. Конденсація парів вуглецю за допомогою самоузгоджених іонних розпилювачів [Текст] / В.І. Перекрестов, Ю.О. Космінська, B.C. Нежинець // Матеріали та програма науково-технічної конференції викладачів, співробітників, аспірантів і студентів фізико-технічного факультету : присвяченої Дню науки в Україні та 60-річчю СумДУ, 21-24 квітня. - Суми : СумДУ, 2008. - Т.2. - С. 52.