Структура и свойства нанокомпозитных комбинированных покрытий с высокой твердостью, которые используются в электронной технике. Исследование физико-химических свойств и структуры покрытий
No Thumbnail Available
Date
2013
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Изд-во СумГУ
Technical report
Date of Defense
Scientific Director
Speciality
Date of Presentation
Abstract
Объектом исследования является исследование физико-химических свойств и структуры нанокомпозитных покрытий на основе Ti-Hf-Si-N; Zr-Ti-Si-N и (Ti-Hf-Zr-V-Nb)N, а также изучение влияния параметров осаждения на фазовый и элементный состав полученных пленок также был проведен анализ микротвердости покрытий, произведен отжиг и проанализирована терми-ческая стабильность сверхтвердых нанокомпозитов и гетероструктур, также разработка новых свойств покрытий и многокомпонентных твердых нано-структур (нанокомпозитных покрытий) на основе Ti-Hf -Si-N, Zr-Ti-Si-N и Ti-Nb-Si-N, (Ti-Hf-Zr-V-Nb)N.
При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/34482
Keywords
електронна структура, электронная структура, нанокомпозитне покриття, нанокомпозитные покрытия
Citation
Структура и свойства нанокомпозитных комбинированных покрытий с высокой твердостью, которые используются в электронной технике. Исследование физико-химических свойств и структуры покрытий: звіт про НДР (промежуточный) / Кер.: А.Д. Погребняк. - Сумы: СумГУ, 2013. - 35 с.