Закономерности структурообразования слоев Al вблизи фазового равновесия в системе плазма-конденсат
No Thumbnail Available
Date
2008
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Физика твердого тела
Article
Date of Defense
Scientific Director
Speciality
Date of Presentation
Abstract
Предложен принципиально новый технологический подход к формированию пористых структур металлов на изотропных подложках при конденсации обратных диффузионных потоков планарного магнетрона на постоянном токе. Проанализированы физические основы работы самосогласованных распылительных систем. При помощи растровой электронной микроскопии выявлены условия формирования таких основных вариантов пористости, как слабосвязанные между собой микро- и нанокристаллы, а также трехмерные лабиринтные структуры. Установлено, что необходимыми основными предпосылками порообразования являются стационарность процесса и близость к фазовому равновесию в системе плазма-конденсат.
При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4078
Keywords
система плазма-конденсат, пористая структура
Citation
Перекрестов, В.И. Закономерности структурообразования слоев Al вблизи фазового равновесия в системе плазма-конденсат [Текст] / В.И. Перекрестов, А.С. Корнющенко, Ю.А. Косминская // Физика твердого тела. — 2008. — том 50. — вып. 7. — с. 1304-1311