Електричні властивості матеріалів контактів на основі плівок Fe і Ge

Abstract

За допомогою омічних невипрямних контактів, від якості яких в значній мірі залежать характеристики, надійність і ресурс роботи мікроелектронних приладів, відбувається електричне з’єднання напівпровідників (НП) з металевими (Ме) елементами і провідниками. Основною характеристикою омічного контакту є його опір на квадрат площі, який складається із послідовно з’єднаних опорів: приконтактної області НП та пов’язаного із проходженням електронами потенціального бар’єру. Авторами було показано, що в сплавних омічних контактах Ме/НП у процесі термообробки відбуваються розчинення НП в Ме, рекристалізація та можливий прояв механізму протікання струму по металевим шунтам, які являють собою атоми метала, що осаджуються в місцях концентрації дефектів (наприклад, дислокацій), і закорочують шар об’ємного заряду. При цьому на краях таких ліній концентрується електричне поле і струм протікає за рахунок польової емісії.