Технологія одержання і фізичні властивості плівкових матеріалів та основи мікроелектроніки (практикуми)
No Thumbnail Available
Date
2011
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Вид-во СумДУ
Schoolbook
Date of Defense
Scientific Director
Speciality
Date of Presentation
Abstract
Keywords
мікроелектроніка, плівкові матеріали, микроэлектроника, плёночные материалы
Citation
Проценко, І.Ю.
Технологія одержання і фізичні властивості плівкових матеріалів та основи мікроелектроніки (практикуми) [Текст] : навч. посіб. / І.Ю. Проценко, Л.В. Однодворець. - Суми : СумДУ, 2011. - 231 с.