Зносостійкі покриття на основі Ti, Al та N для виробів машинобудування і різального інструменту

Abstract

Плівкові покриття на основі нітриду титана (TiN) отримали широке застосування як захисні покриття в машинобудуванні, інструментальному виробництві, в мікроелектроніці і т.п. Висока твердість дає можливість широко використовувати їх як захисно-декоративні покриття в стоматології, зміцнюючі та зносостійкі покриття для різальних інструментів. Відновлення інструментів та надання необхідної твердості деталям машин, що працюють в умовах високих навантажень, є важливою практичною задачею у зв’язку з їх постійним зношенням. У мікроелектроніці, високі теплова та хімічна стійкість, висока температура плавлення і низький об'ємний коефіцієнт питомого електричного опору TiN, дають можливість застосовувати його як адгезійний шар і дифузійний бар'єр для різних типів з’єднань в багатошарових структурах [1].