Мікроелектронні сенсори магнітного поля: принципи функціонування і технологічні параметри

Abstract

Метою роботи є аналіз фізичних властивостей фізичні властивості мікроелектронних сенсорів магнітного поля їх дослідження конструктивних та технологічних параметрів, можливості їх застосування як елементів електронних сенсорів, визначивши їх переваги і недоліки. Розглянуто електрофізичні властивості різних типів мікроелектронних сенсорів магнітного поля: конструктивні та технологічні параметри, а саме магніторезистори на основі магнітоконцентраційного ефекту, магніторезистори на ефекті гігантського магнітоопору, магнітодіоди, перетворювачі Холла, магнітотранзистори та плівки для візуалізації магнітного поля. Цей клас приладів знайшов широке технічне застосування в різних галузях промисловості та приладобудування, від медицини до автомобільної та космічної промисловості. Також установлені фактори, що впливають на механічні та електрофізичні властивості мікроелектронних сенсорів магнітного поля.