Numerical analysis of the morphological and phase changes in the TiN/Al2O3 coating under high current electron beam modification
No Thumbnail Available
Date
2013
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Thomson
Article
Date of Defense
Scientific Director
Speciality
Date of Presentation
Abstract
Проаналізовано процес модифікації структури поверхнi гiбридного покриття TiN/Al2O3 пiд впливом низькоенергетичного сильнострумового електронного пучка. Шорсткiсть поверхнi розглянуто як функцiю струму пучка. Поверхнi отриманих зразкiв дослiджувались за допомогою двовимiрного мультифрактального флуктуацiйного аналiзу. Для кiлькiсного аналiзу змiни шорсткостi розрахована функцiя мультифрактального спектру. Показано, що зi збiльшенням енергії пучка поверхня стає бiльш регулярною та рiвномiрною.
При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/33940
A modification of the surface structure of the hybrid coating TiN/Al2O3 with a low energy high current electron beam (NCEB) is performed. The surface roughness is considered as a function of beam current. Surfaces of the obtained samples are investigated within the two dimensional multifractal detrended fluctuation analysis(MFDFA). The multifractal spectrum of the surface is calculated as a quantitative parameter of the roughness. It is shown that with an increase of the beam energy, the surface becomes more regular and uniform. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/33940
A modification of the surface structure of the hybrid coating TiN/Al2O3 with a low energy high current electron beam (NCEB) is performed. The surface roughness is considered as a function of beam current. Surfaces of the obtained samples are investigated within the two dimensional multifractal detrended fluctuation analysis(MFDFA). The multifractal spectrum of the surface is calculated as a quantitative parameter of the roughness. It is shown that with an increase of the beam energy, the surface becomes more regular and uniform. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/33940
Keywords
self similarity, fractal dimension, hybrid coating, high current electron beam(s) effect, самоподiбнiсть, фрактальна розмiрнiсть, гiбридне покриття, НПЕП ефект
Citation
Pohrebniak, O.D. Numerical analysis of the morphological and phase changes in the TiN/Al2O3 coating under high current electron beam modification [Текст] / O.D. Pohrebniak, V.M. Borysiuk, A.A. Bagdasaryan // Condensed Matter Physics. — 2013. — Vol.16? №3. — P. 1-3.