Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4064
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Застосування автоматизованого комплексу для серійного виробництва тонкоплівкових металевих тензодатчиків
Authors Коломієць, В.В.
Наконечний, Д.М.
Velykodnyi, Dmytro Volodymyrovych  
ORCID http://orcid.org/0000-0003-0044-5619
Keywords тонкоплівкові металеві тензодатчики
тонкопленочные металлические тензодатчики
Type Conference Papers
Date of Issue 2010
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4064
Publisher Видавництво СумДУ
License
Citation Коломієць, В.В. Застосування автоматизованого комплексу для серійного виробництва тонкоплівкових металевих тензодатчиків [Текст] / В.В. Коломієць, Д.М. Наконечний, Д.В. Великодний // Матеріали та програма науково-технічної конференції викладачів, співробітників, аспірантів і студентів факультету електроніки та інформаційних технологій : Суми, 19-23 квітня 2010 року / Відп. за вип. С.І. Проценко. — Суми : СумДУ, 2010. — С. 96-97.
Abstract Розроблений автоматизований комплекс призначений для серійного виробництва тонкоплівкових тензодатчиків з коефіцієнтом тензочутливості до 20 одиниць методом термічного випаровування у вакуумі на полістироловій підкладці. Як чутливі елементи тензодатчиків можуть виступати двошарові плівки Cu/Cr з товщиною окремих шарів до 30 нм. Для вимірювання товщини плівок застосовується метод кварцового резонатора, який при реалізації двокварцової системи дозволяє встановити необхідну швидкість конденсації до початку конденсації плівки на підкладку та контролювати її товщину безпосередньо під час експерименту. Процес конденсації плівки контролюється за допомогою екрану, який закриває підкладку та пластину кварцу і приводиться в рух електромагнітом. Дана система дозволяє отримати в автоматичному режимі тонкоплівкові зразки заданої товщини з точністю +- 1 нм. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4064
Appears in Collections: Наукові видання (ЕлІТ)

Views

Canada Canada
2
China China
6
France France
1
Germany Germany
362
Greece Greece
129664
Iran Iran
1
Ireland Ireland
1760095
Lithuania Lithuania
1
Morocco Morocco
1
Netherlands Netherlands
13790
Pakistan Pakistan
1
Russia Russia
23
Sweden Sweden
1
Turkey Turkey
6
Ukraine Ukraine
6961753
United Kingdom United Kingdom
3520187
United States United States
40205257
Unknown Country Unknown Country
6961752

Downloads

China China
6
France France
1
Germany Germany
363
Ireland Ireland
1
Lithuania Lithuania
1
Ukraine Ukraine
20857610
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
20857610
Unknown Country Unknown Country
71

Files

File Size Format Downloads
ElIT_2010.pdf 8,31 MB Adobe PDF 41715664

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.