Влияния параметров напыления на тонкую структуру вакуумно-плазменных покрытий

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4108

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Влияния параметров напыления на тонкую структуру вакуумно-плазменных покрытий
Authors	Kulmentieva, Olha Petrivna Махмуд, А.М. Король, С.
ORCID
Keywords	процесс напыления процес напилення deposition process
Type	Conference Papers
Date of Issue	2010
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4108
Publisher	Видавництво СумДУ
License
Citation	Кульментьева, О.П. Влияния параметров напыления на тонкую структуру вакуумно-плазменных покрытий [Текст] / О.П. Кульментьева, А.М. Махмуд, С. Король // Матеріали та програма науково-технічної конференції викладачів, співробітників, аспірантів і студентів факультету електроніки та інформаційних технологій : Суми, 19-23 квітня 2010 року / Відп. за вип. С.І. Проценко. — Суми : СумДУ, 2010. — С. 114.
Abstract
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)