Оценка шероховатости гладких поверхностей неметаллов микроинтерференционным методом

Abstract

Оцінювання шорсткості поверхонь, що характеризуються Ra ≤ 0,01 мкм, може бути виконане вимірювальною системою «Micron-alpha» на базі оптичного приладу МИИ-4. Пристрій цифрової фіксації останнього дозволяє сканувати ділянку поверхні розміром не більше 250×190 мкм. Однак у цьому випадку з регламентованих стандартом ISO величини базової довжини (0,08 мм), співвідношення базової довжини і довжини оцінювання (0,08/0,4) останнє не виконується. У статті показано, що значення параметрів шорсткості поверхні таких матеріалів, як сапфір і кераміка, на основі діоксиду цирконію, що визначені названою вимірювальною системою, є зіставними з результатами оцінювання шорсткості, одержаними при скануванні ділянки поверхні на порядок більшого розміру. Разом з тим більша чутливість такої методики оцінювання до місцевих дефектів поверхні – виходом пор на поверхню, дрібним відколкам, подряпинам вимагає використовувати при вимірюванні не менше 10 трас оцінювання.

Оценка шероховатости поверхностей, характеризуемых Ra ≤ 0,01 мкм, может быть выполнена измерительной системой «Micron-alpha» на базе оптического прибора МИИ-4. Устройство цифровой фиксации последнего позволяет сканировать участок поверхности размером не более 250×190 мкм. Однако в этом случае из регламентированных стандартом ISO величины базовой длины (0,08 мм) и соотношения базовой длины и длины оценки (0,08/0,4) последнее не выполняется. В статье показано, что значения параметров шероховатости поверхности таких материалов, как сапфир и керамика на основе диоксида циркония, определенные указанной измерительной системой, сопоставимы с результатами оценки шероховатости, полученными при сканировании участка поверхности на порядок большего размера. Вместе с тем большая чувствительность такой методики оценки к местным дефектам поверхности – выходам пор на поверхность, мелким выколкам, царапинам, требует использовать при измерении не менее 10 трасс оценки.

To estimate a roughness of the surfaces characterized by Ra ≤ 0,01 μm is possible by measuring system «Micron-alpha» on the basis of the optical device MII-4. The device for digital fixing of the MII-4 scans a surface area in the size no more 250×190 μm. However in this case from regulated by standard ISO of size of sampling length (0,08 mm) and a parity of sampling length and evaluation length (0,08/0,4) the second is not carried out. The article shows that values of surface roughness parameters of such materials as sapphire and zirconium dioxide ceramics calculated by the mentioned measuring system are comparable to results of an evaluation of the roughness, worked out at scanning of surface area of 10 times bigger size. At the same time more high sensitivity of such estimating technique to local defects of a surface such as appearance of a pores on a surface, small chips or scratches, requires to use in measuring not less than 10 evaluation tracks.